SCIL全自动纳米压印光刻机工作科普！

22-04-25 14:24:31 来源:闪德半导体

压印本质上从本质上是一种印刷复制技术，是将模板进行大量复制的技术。压印技术加工技术根据图形尺寸的大小可分为纳米压印技术和模压技术。最初提出的纳米压印技术为热压印纳米技术和室温纳米压印技术。

纳米压印技术是华裔科学家美国普林斯顿大学周郁在20世纪1995年首先提出的。目前，这项技术最先进的程度已经达到5nm以下的水平。纳米压印技术主要包括热压印（HEL），极紫外压印（UV-NIL）（包括进一闪光印（S-FIL）），微接触印刷。纳米压印是加工聚合物结构的最常用方法，它采用高分辨率电子束等方法将结构复杂纳米结构图案制在印章上，然后用预先图案化印章使聚合物材料变形而在聚合物上形成结构图形。

在热压印工艺中，结构图案转移到被加热软化的聚合物后，通过冷却到聚合物玻璃化温度以下固化，而在紫外压印工艺中是通过紫外光聚合来固化的。微接触印刷通常指将墨材料转移到图案化的金属基表面上，在进行刻蚀工艺。纳米压印技术是在纳米尺度获得复制结构的一种成本低而速度快的方法，它可以大批量重复性地在大面积上制备纳米图案结构，而且所制出的高分辨率图案具有相当好的均匀性和重复性。

纳米压印技术制图不仅可以供从事微电子、微纳加工、纳米技术的科技人员参考，也可供化学、生物、医学、光电子和磁学等领域的科研人员借鉴。同时，纳米压印技术深入浅出，通俗易懂，也具有一定的科普价值。